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| 激光刻蚀技术及其在航天器天线制造中的应用 | |
| 作者姓名： | 杨建平 陈学康 吴敢 王瑞 曹生珠 |
| 作者单位： | 兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验室; |
| 摘 要： | 以可实现频率复用、高灵敏度和低噪声的航天器先进固面天线反射器(极化和频率敏感反射器等)为例,主要介绍了利用镀膜/激光刻蚀技术进行反射器表面高精度金属薄膜图形制作过程中的关键技术问题和解决措施,同时简要介绍了已尝试过的三维曲面高精度薄膜图形制作技术和激光刻蚀技术的现状和发展方向。 |
| 关 键 词： | 激光刻蚀 三维薄膜图形 航天器 天线反射器 |
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