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在线加工用高精度二维微小角度传感器的设计
引用本文:田会斌,刘庆纲,胡小鹏,胡小唐. 在线加工用高精度二维微小角度传感器的设计[J]. 航空精密制造技术, 2005, 41(5): 16-18
作者姓名:田会斌  刘庆纲  胡小鹏  胡小唐
作者单位:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
摘    要:提出了一种基于内反射效应的二维微小角度传感器的设计方法。该传感器采用光学差动法,通过检测光强实现了对二维方向上微小角度的测量。研制的角度传感器俯仰角和偏转角的测量范围为±500arcsec;具有优于0.1arcsec的分辨力。

关 键 词:角度测量  二维  光强检测
文章编号:1003-5451(2005)05-0016-03
修稿时间:2004-11-21

Design of High Precision 2D Micro-angle Sensor for Online Machining
TIAN Hui-bin,LIU Qing-gang,HU Xiao-peng,et al. Design of High Precision 2D Micro-angle Sensor for Online Machining[J]. Aviation Precision Manufacturing Technology, 2005, 41(5): 16-18
Authors:TIAN Hui-bin  LIU Qing-gang  HU Xiao-peng  et al
Abstract:
Keywords:angle measurement  two dimensional  light intensity  
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