碳化硅反射镜材料性能预测

预测了反应烧结SiC（RBSiC）的物理及部分力学性能与游离Si含量的变化关系,并对预测值与测量值进行比较以验证其符合程度。经预测,随Si含量的增加,RBSiC的密度呈线性下降,尤其是气孔对材料密度的影响非常明显;线膨胀系数和热导率均应呈加速上升趋势,比热容稍有下降;各模量均有下降趋势。随着气孔的增加,RBSiC的膨胀量变化不明显,比热容和热导率均呈减速下降趋势。RBSiC测量值与预测值产生偏差是因为材料中Si含量的增加导致缺陷增多以及计算性能用数据有偏差所致,但预测仍能较符合RBSiC性能随Si含量变化趋势,因此认为预测值较为合理可作为性能参考值使用。