热气泡微机械加速度计

本文论述了一种以热气泡为主的微机械加速度计，技术上不同点在-t-]s~速度计中唯一可移动的元件是一个小的热气泡，在微型舱体中用高磁通量的加热器蒸发液体产生了该热气泡。分析和讨论了该传感器的基本物理特征，包括热量传递和液体流动。用数字仿真验证上述加速度计特性，并用特殊的测试设备演示该性能，其结果是响应良好，灵敏度高。