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等倾干涉分段法求取研磨面平尺平面度误差的测量与计算

引用本文：	张泰昌.等倾干涉分段法求取研磨面平尺平面度误差的测量与计算[J].航空计测技术,1991(4):23-26.

作者姓名：	张泰昌

摘要：
关键词：	等倾干涉法平尺不平度误差测量
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