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| 用相位偏移干涉法精确测量量块长度 | |
| 作者姓名： | 朱振宇 牛立新 严歆 张富根 任冬梅 |
| 作者单位： | 中国航空长城计量测试技术研究所!北京市1066信箱长度处,100095,中国航空长城计量测试技术研究所!北京市1066信箱长度处,100095,中国航空长城计量测试技术研究所!北京市1066信箱长度处,100095,中国航空长城计量测试技术研究所!北京市1066信箱长度处,100095,中国航空长城计量测 |
| 摘 要： | 讨论了相位偏移干涉技术的原理、常用的算法和小数重合法的应用。在分析了传统的柯氏干涉仪的量块测量方法基础上 ,提出运用相位偏移干涉法的量块测量法 ,最后给出了量块测量的数据。 |
| 关 键 词： | 相位偏移干涉技术 量块 测量 小数重合法 |
| 文章编号： | 1002-6061(2001)01-0020-04 |
| 修稿时间： | 2000-09-18 |
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