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| 我国近年来MIC电路及工艺发展浅谈——参加第七届全国MIC电路及工艺会议有感 | |
| 作者姓名： | 王平 姜万杰 李弦 |
| 作者单位： | 西安空间无线电技术研究所，西安空间无线电技术研究所，西安空间无线电技术研究所 西安 710000，西安 710000，西安 710000 |
| 摘 要： | 从60年代首次出现起,微波集成电路(MIC)的发展就一直没有停止。各种类型的混频器、放大器、开关器件等已占据了微波通信、雷达、遥感、航天等领域的主导地位。随着微波半导体器件的成熟,工艺加工水平的提高,以及砷化镓材料设备的完善,器件成品率提高,MIC已走向MMIC(单片微波集成电路),并向超高速数字电路和光集成电路发展。对于我国来说,MIC |
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