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| 考虑微加工误差的微机械陀螺的健壮性优化 | |
| 作者姓名： | 姜涛 善盈盈 王安麟 焦继伟 |
| 作者单位： | 同济大学,机械工程学院,上海,200092;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 国家高技术研究发展计划(863计划) |
| 摘 要： | 为减小微加工误差对音叉振动式微机械陀螺设计性能的影响、提高其批量性能稳定性,以对其加工后性能变异影响最大的若干关键参数为设计变量,在分析了几何约束条件、模态性能约束条件、基于模态的加工灵敏度约束条件的基础上建立了微机械陀螺健壮性优化的数学模型。在无需事先知道微机械陀螺尺寸／性能的详尽统计信息的条件下,采用一阶摄动技术和遗传算法实现了微机械陀螺的健壮性优化设计。 |
| 关 键 词： | 微机械陀螺 健壮性优化 微加工误差 固有频率 数学模型 |
| 文章编号： | 1000-6893(2007)06-1499-07 |
| 修稿时间： | 2006-12-11 |
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