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| 提高激光干涉仪分辨力和可靠性的一种相位编码方法 | |
| 引用本文： | 徐卫华.提高激光干涉仪分辨力和可靠性的一种相位编码方法[J].宇航计测技术,1992(6):50-53. |
| 作者姓名： | 徐卫华 |
| 摘 要： | 提出一种电子测量方法,它能提高测量位移用的激光干涉仪的分辨力和可靠性。通过对干涉条纹间隔分区编码,测量位移的分辨力为波长的1/170(对He-Ne激光器约为4nm)。因为避免了在计数过程中由环境噪声而引起的累积误差,所以测量值比使用那些传统的脉冲计数测量法更为可靠。 |
| 关 键 词： | 激光 干涉仪 分辨率 可靠性 |
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