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| 全方位等离子体源离子注入技术的新发展 | |
| 引用本文： | 武洪臣.全方位等离子体源离子注入技术的新发展[J].航空制造技术,1998(3). |
| 作者姓名： | 武洪臣 |
| 作者单位： | 北京航空工艺研究所 |
| 摘 要： | 简要介绍了全方位离子注入技术领域近几年国际上出现的几项新技术。 |
| 关 键 词： | 全方位离子注入 离子回旋共振 冷阴极放电 等离子体开关 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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