| 声表面渡(SAW)力传感器 |
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| 引用本文： | 李同泽.声表面渡(SAW)力传感器[J].实验流体力学,1990(1). |
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| 作者姓名： | 李同泽 |
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| 作者单位： | 西北工业大学 |
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| 摘 要： | 本文对声表面波(SAW)力传感器的基本工作原理进行了理论分析,同时对该传感器进行了实验研究。实验获得了约2.3kHz/9.8×10~(-3)N 的力灵敏度。实验表明该传感器是一个线性传感器,对于微力测量十分敏感。
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| 关 键 词： | SAW 谐振器 SAW力传感器 微力测量 |
SURFACE ACOUSTIC WAVE FORCE SENSOR |
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| Li Tongze.SURFACE ACOUSTIC WAVE FORCE SENSOR[J].Experiments and Measur in Fluid Mechanics,1990(1). |
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| Authors: | Li Tongze |
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| Institution: | Northwestern Polytechnical University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SAW resonator(SAWR) SAW force sensor micro-force measurement |
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