| 高回转精度微柱状电极电化学加工模型及试验 |
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| 引用本文： | 李名鸿,刘勇,郭春生,王明宇,牛静然.高回转精度微柱状电极电化学加工模型及试验[J].航空学报,2016(12):3864-3872. |
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| 作者姓名： | 李名鸿 刘勇 郭春生 王明宇 牛静然 |
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| 作者单位： | 1. 山东大学力学与机电装备联合工程技术研究中心,威海,264209;2. 山东大学力学与机电装备联合工程技术研究中心,威海 264209;山东大学高效洁净机械制造教育部重点实验室,济南 250061;3. 山东大学高效洁净机械制造教育部重点实验室,济南,250061 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51305238)，中国博士后科学基金(2015M572023)，山东省自然科学基金(ZR2015PE016)，山东大学(威海)青年学者未来计划(2015WHWLJH03) National Natural Science Foundation of China(51305238)，China Postdoctoral Science Foundation(2015M572023)，Natural Science Foundation of Shandong Province(ZR2015PE016)，Young Scholars Program of Shandong University |
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| 摘 要： | 为实现高回转精度微柱状电极的精确高效在线制备,对微电极电化学刻蚀过程进行了深入的研究与改进。首先,根据电化学刻蚀原理,分析了电极旋转对柱状电极加工的影响,试验证明电极旋转可以提高电极的回转精度;其次,根据试验归纳,确立了加工电压、浸液深度和电极转速之间的函数关系,建立了高回转精度微柱状电极加工控制数学模型;最后,在上述模型的指导下,选择优化的加工参数组合,成功加工得到一系列直径为100μm左右、同轴度误差小于1μm的柱状电极。
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| 关 键 词： | 高回转精度 微柱状电极 电化学刻蚀 电极旋转 数学模型 |
Model and experimental on fabrication of cylindrical micro electrode with high rotation accuracy by electrochemical machining |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | high rotation accuracy cylindrical micro electrode electrochemical etching rotation of electrode mathematical model |
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