球形气体支承的动态特性

本文研究球形气体支承，支承中通过环形截面和一系列间隔的供气装置向润滑层供气。当球心偏离中心位置的位移参数很小时，气体润滑的不平衡雷诺方程将简化为准平稳形式，这样可以对其进行积分，而与活动球的运动方程组无关。     

静压气浮直驱转台热特性

以开发满足精密工程应用的静压气浮直驱转台为目标,研究静压气浮直驱转台结构的热稳定性.首先,分析了静压气浮直驱转台的发热-传热特性,建立了三维热特性有限元模型,计算了气浮直驱转台的温度场云图;用间接耦合的分析方法,将温度场作加载条件,进行转台热-结构耦合分析;然后,对比研究了两种直驱电机安置结构对转台热稳定性的影响,提出了静压气浮直驱转台的空气强制对流冷却方案;最后,完成了无框力矩电机后置式静压气浮直驱转台的温度场检测实验.实验结果表明,静压气浮直驱转台测试点的计算与实测温度的最大误差为1.93 ℃,稳态温度场分布计算精度较高;温度分布稳态时,气浮转台止推轴承气膜单侧间隙的变化量为0.55 μm,在空气轴承气膜设计允许的波动范围内,对轴承性能不产生明显的影响.电机后置式直驱静压气浮转台结构的热稳定性好,适合工业应用.     

充磁导致的超高速永磁同步电机不平衡磁拉力

转子永磁体充磁角度偏差导致的不平衡磁拉力对微型燃气轮机发电系统用超高速永磁同步电机的安全稳定运行有很大的影响.采用有限元数值分析方法,分别在不考虑转子偏心和考虑转子偏心的情况下,对由充磁角度偏差导致的超高速永磁同步电机不平衡磁拉力进行了计算和分析;将不平衡磁拉力的计算结果作为载荷,获得了超高速永磁同步电机空气轴承-转子系统的固有频率及振动特性.研究结果表明:转子系统在740 Hz附近发生共振,共振幅值随着转子磁芯充磁偏差角度的增大而增大;要保证转子系统安全可靠的工作,需要将磁芯的充磁角度偏差限制在5°以内.     

气浮陀螺空气轴承涡流力矩的有限元分析

气浮陀螺K0项漂移精度的控制一直是陀螺研制中的难点,而空气轴承涡流力矩是影响陀螺K0项漂移精度最主要因素。因此,本文根据气浮陀螺研制中的实际问题,结合机加工中空气轴承出现的误差形式,建立了空气轴承制造误差对涡流力矩影响的数学模型,并采用有限元方法分析了空气轴承制造误差对涡流力矩的影响规律,得出了浮子圆度误差和窄缝装配误差是引起涡流力矩最主要因素,并通过空气轴承结构参数与涡流力矩的灵敏度分析,得到了径向平均间隙和窄缝平均间隙结构参数的最优值。针对上述研究结论,提出了控制陀螺涡流力矩的技术方法,并通过试验验证了本文理论计算结果的正确性。     

超精密主轴的传动方法

本文论述了超精密主轴的各种传动方法及其优缺点,列举出国内外超精密主轴传动的实例,并提出选择传动方法的原则。     

超精密镗削加工机床

本文介绍了为解决机载设备制造技术中普遍存在的精密孔和精密孔系加工问题而研制的超精密镗削加工机床,以及实施超精密镗削加工的条件和措施,最后给出了超精密镗削加工的试验结果。     

滑移边界对空气轴承性能的影响研究

为增进滑移边界对空气轴承性能影响的认识,提高空气轴承设计的准确性,以波箔式动压轴承为研究对象,推导了滑移边界下无量纲形式的压缩性流体非定常Reynolds控制方程;采用有限差分法(Finite Difference Method,FDM)及Newton-Raphson方法,建立了相应的差分格式;讨论了滑移边界对波箔型轴承的压力分布、承载力及偏位角的影响;最后,对比分析考虑滑移边界下,结构参数相同的波箔轴承及刚性轴承性能对滑移边界的敏感度。结果表明,由于波箔轴承的弹性变形,波箔轴承对滑移边界的敏感程度远小于刚性轴承。     

毫米级空气轴承的结构与MEMS制造工艺研究

为了研究应用于微型推进系统的微型空气轴承(Micro Air Bearing,MAB)的结构形式及微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)制造工艺,在保证性能需求的前提下,充分考虑轴承结构与MEMS工艺尤其是多层硅直接键合技术(Silicon Direct Bonding,SDB)的兼容性,提出了总厚度为1.5mm的新型结构形式并制定了完整的制造工艺流程;针对微型空气轴承制造的3B(Bearing,Blade,Bonding)挑战,采用变量实验的方法,研究了刻蚀参数对于轴承结构精度的影响规律,轴承侧壁垂直度达到89°,侧壁粗糙度小于10nm,消除了腐蚀扩散等常见的MEMS工艺缺陷,提高了叶片结构的完整性和均匀性,获得了多层硅直接键合的最优工艺参数,通过MATLAB图像处理程序定量分析三层直接键合率达到85%,优于之前报道的结果。研究结果说明,MEMS制造工艺能够用于微型空气轴承的制造,但在结构设计中必须考虑工艺兼容性,刻蚀的偏压功率和腔体压力对于径向轴承的侧壁垂直度和粗糙度具有重要影响,在刻蚀叶片时必须调整刻蚀保护循环比来保证其结构的完整性和均匀性,减少键合层数和应力累积水平对于多层硅直接键合率的提升具有重要作用。     

充磁导致的超高速永磁同步电机不平衡磁拉力

转子永磁体充磁角度偏差导致的不平衡磁拉力对微型燃气轮机发电系统用超高速永磁同步电机的安全稳定运行有很大的影响.采用有限元数值分析方法,分别在不考虑转子偏心和考虑转子偏心的情况下,对由充磁角度偏差导致的超高速永磁同步电机不平衡磁拉力进行了计算和分析;将不平衡磁拉力的计算结果作为载荷,获得了超高速永磁同步电机空气轴承-转子系统的固有频率及振动特性.研究结果表明:转子系统在740 Hz附近发生共振,共振幅值随着转子磁芯充磁偏差角度的增大而增大;要保证转子系统安全可靠的工作,需要将磁芯的充磁角度偏差限制在5°以内.