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为了研究电子回旋共振中和器内静磁场和微波电磁场的分布规律,设计合理的磁路结构以形成电子回旋共振区,并使微波强电场区与电子回旋共振区重合,采用有限元分析软件对中和器内的静磁场和微波电磁场进行了数值计算。计算结果表明:永磁体及磁轭的尺寸均影响电子回旋共振区的分布;天线伸入长度越长,微波电场越强。微波频率为4.2GHz时,六块相同的长12mm,宽8mm,高5mm的条形永磁铁与磁轭组成的磁路结构,可以产生合理的电子回旋共振区。L型天线伸入长度为5mm时微波强电场区可与电子回旋共振区重合。 相似文献
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针对电子回旋共振(ECR)中和器性能无法满足实际应用需求的问题,开展了10 cm ECR中和器的性能优化实验研究,在分析现有ECR中和器内部结构的基础上,提出新的结构改进方案。通过改进ECR中和器的电子束流引出对比实验,得到了中和器结构对束流引出性能的影响规律。优化后的ECR中和器性能实验表明:相同条件下ECR中和器束流引出大小与气体流量大小不成正相关,但随着微波功率的增加而增加。性能实验得到的中和器最佳工作和性能参数为:微波功率为10 W、氙气流量为0.5 sccm,收集板间距为5 mm时,在50 V引出电压条件下能够引出127 mA的电子束流。 相似文献
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