IC制造中平坦化技术的性能与分析

表面平整化技术是半导体工业的关键技术,在一定程度上制约着半导体芯片集成技术的发展,针对多层立体布线的IC全局平坦化技术,介绍了代表当今平整化技术及其未来的发展方向,其中一些技术会取代传统的CMP技术而成为IC产业的主导技术之一;叙述了超大规模集成电路(ULSI)的发展对全局平整化的具体要求;对传统的CMP技术的特点进行了分析;并论述了当今主流的IC平整化技术的原理、性能以及未来的发展方向。     

IC6合金动态拉伸过程原位观测

为了研究IC6合金的断裂机制,用背散射电子图像原位观察该合金的动态拉伸过程.结果表明IC6合金中的M6C碳化物是脆性相,在受力时容易开裂.在裂纹已经产生的情况下,大量M6C碳化物会加速裂纹的扩展.     

Keck observations of ROSAT ultra-luminous X-ray source candidates

We present results of optical follow-up observations of candidate ultra-luminous X-ray sources (ULXs). Using Keck optical spectroscopy, 17 of the candidates from the Colbert and Ptak [Colbert, E.J.M., Ptak, A.F. A catalog of candidate intermediate-luminosity X-ray objects. ApJS 143, 25–45, 2002] catalog have been identified; this is one of the largest sets of optical identifications of such objects thus far. Fifteen are background active galactic nuclei (AGN); two are foreground stars in our Galaxy. These findings are consistent with background and foreground object expectations, as derived from log N–log S relations. Also, the results are briefly discussed in terms of the spiral-galaxy/ULX connection.     

防护涂层对Ni3Al基合金IC6AE微观组织和抗腐蚀性能的影响

采用料浆法和粉末包埋渗法在Ni3Al基等轴晶合金IC6AE上分别制备了Al-Si和NiCr-CrAl涂层,并对Al-Si和NiCr-CrAl涂层及不加涂层的IC6AE合金三种试样进行900℃/20h,40h,60h,80h,100h的涂盐(5wt%NaCl 95wt%Na2SO4)抗腐蚀性能试验.试验结果表明,与Al-Si涂层试样和无涂层IC6AE合金试样相比,NiCr-CrAl涂层试样表现出最好的抗热腐蚀性能;与无涂层的IC6AE合金试样相比,Al-Si涂层试样的抗腐蚀性没有明显的改善.微观结构分析表明,无涂层的IC6AE合金在900℃时经过几个小时后就遭到了严重的腐蚀破坏.涂盐腐蚀100h后,表面生成了一层主要由Mo,Ni的氧化物组成的多孔无保护性的疏松层.对于Al-Si涂层的试样,900℃/100h腐蚀后试样表面生成了大量Mo,Ni的氧化物,此外还有少量Al2O3及NiAl3相,这些相对样品有一定的保护作用.涂覆NiCr-CrAl涂层的样品经900℃/100h腐蚀后,试样表面主要生成了连续致密的Al2O3及NiAl2O4层,并有少量的Mo,Ni的氧化物,因此对合金有着较好的保护作用,抗腐蚀性能得到了显著改善.     

New insights into SNR evolution revealed by the discovery of recombining plasmas

We report the discovery of recombining plasmas in three supernova remnants (SNRs) with the Suzaku X-ray astronomy satellite. During SNR’s evolution, the expanding supernova ejecta and the ambient matter are compressed and heated by the reverse and forward shocks to form an X-ray emitting hot plasma. Since ionization proceeds slowly compared to shock heating, most young or middle-aged SNRs have ionizing (underionized) plasmas. Owing to high sensitivity of Suzaku, however, we have detected radiative recombination continua (RRCs) from the SNRs IC 443, W49B, and G359.1–0.5. The presence of the strong RRC is the definitive evidence that the plasma is recombining (overionized). As a possible origin of the overionization, an interaction between the ejecta and dense circumstellar matter is proposed; the highly ionized gas was made at the initial phase of the SNR evolution in dense regions, and subsequent rapid adiabatic expansion caused sudden cooling of the electrons. The analysis on the full X-ray band spectrum of IC 443, which is newly presented in this paper, provides a consistent picture with this scenario. We also comment on the implications from the fact that all the SNRs having recombining plasmas are correlated with the mixed-morphology class.     

脉宽调制器中一类振荡器的全面解析结果

用分析法全面讨论脉宽调制器（IC：1842/3/4/5,1842A/3A/4A/5A）中振荡器的振荡特征参数（占空比D和频率f）与外接电阻R和电容C的关系.我们得到以R、C为自变量表达D和f的函数,以D、f为自变量求R、C的函数.并根据这些函数的计算结果绘制描述D、f、R、C（1F）4个参数之间的关系曲线.这些结果,不仅提升了对这类振荡器的认知,而且可供设计时直接引用和参考.     

一种新型的A／D转换器

本文介绍了一种设计Ａ／Ｄ转换器的新技术一分段Ａ／Ｄ转换技术，此技术用低位Ａ／Ｄ转换器，在不降低转换速度的情况下，实现了较高精度的Ａ／Ｄ转换，从面在一定程度上解决了Ａ／Ｄ转换器高精度与高速度之间的矛盾。     

含环氧基团丙烯酸酯液体橡胶增韧环氧树脂的研究

研究了含环氧基团丙烯酸酯液体橡胶对环氧树脂三乙醇胺固化体系的增韧作用。结果表明,增韧环氧树脂体系是以橡胶粒子为分散相的两相结构,丙烯酸酯液体橡胶能显著地提高环氧树脂的冲击强度和断裂韧性GIC,幅度分别达63.0%和350%,而拉伸性能、弯曲性能和玻璃化温度的降低幅度不大。     

脉冲电晕放电对减少内燃机有害排放的研究

本文对脉冲电晕放电对减少内燃机有害排放的可行性进行了研究，实验中用NDIR(非分散红外线)气体分析仪测量了SY492Q-1型汽油机在等离子装置工作或不工作时排气中CO、CO2和HC的浓度，并通过等离子发生装置结构的变化调整阴极与阳极间的放电间隙，观察并测量其对实验结果的影响。初步实验结果证明，利用等离子体技术减少汽车尾气中的HC和CO的排放是可行的，并且等离子发生装置的放电电压和放电间隙对实验结果有重要影响。     

不同中间层合金对IC10合金的连接

采用B或Zr作为降熔元素分别配制不同中间层合金,并对IC10合金进行连接.分析不同状态下焊缝组织.结果表明,含B中间层合金连接IC10时,保温时间较长可以达到等温凝固,而含Zr中间层合金在本试验条件下表现为钎焊过程.