用定标块准确确定圆度仪的放大倍数

用定标块校准圆度仪的放大倍数时，一般是将定标块在圆度仪上测量的圆记录放大轮廓图用同心圆模板对线，找出凹下轮廓的径向放大值，然后除以定标块小平面弦高的实际值，其商即为放大倍数。但是，这种方法的缺点是测量准确度不高，不适用于圆度仪自动化程度日益提高带来的快速数字采样自动化校准放大倍数的要求。根据未抑制的定标块圆记录放大轮廓的凹下部分为一弦线的特点，推导了式（８）～（１３）。按要求的采样相邻点的夹角在弦线中点附近的直线上找出三个连续采样值，代入式（８）～（１３），可准确计算出圆度仪的放大倍数。用实例验证了这种新方法的准确性和可行性。     

工件表面轮廓均方根斜率的光散射测量

描述并确定具有明显纹理粗糙表面均方根斜率的光散射技术(均方根斜率是联合表面轮廓高度和波长特性的混合参数)。称为散射光锥法(The scattered light-conemethod)的该技术是基于激光角散射检测阵列(DALLAS——Defector Array for Laser LishtAngular Scattering),它用于测量粗糙表面散射光角分布的仪器。均方根斜率是从DALLAS光散射图象的角宽得到的。一般可以发现角宽(即估计的均方根斜率)对光的入射角和散射角变化相当大时是不敏感的。这些结果与表面材料无关,并且对正弦和随机粗糙表面都是有效的。介绍了散射光锥法的测量原理、实验、数据分析和几点结论。     

圆度仪测量系统滤波特性的检定

提出一种用定标块检定圆度仪测量系统滤波特性的新方法。该定标块的弦高计算值通过测量系统的各滤波档时必定被衰减。我们可以利用这一弦高值衰减的特点检定其滤波特性。介绍了该方法的检定原理和实验结果。该方法的优点是比用微振动器检定具有更高的效率和更高的准确度，并且可利用检定圆度仪放大倍数的定标块来检定各种圆度仪测量系统的滤波特性。     

用定标块检定圆度仪测量系统放大倍率的精度

放大倍率是圆度仪测量系统的一项重要的检定项目,其数值正确与否将直接影响圆度仪的测量精度。目前,国内外用定标块检定放大倍率的动态检定法用得最广,但在检定精度上也最有争议。我们对这一检定法做了详细的理论分析、计算与试验验证,解决了上述的精度问题,并得到几点重要的结论供圆度仪的设计、生产和使用者在工作中应用。     

用光探测器测量激光陀螺反射镜的前后向散射——研究表面粗糙及波度对散射的影响

研究了激光陀螺反射镜基片表面粗糙度和波度前、后向散射的测量计算及其对散射的影响。研究结果表明:在同样的精度下,表面粗糙度比波度对散射的影响更大.因此.提高表面粗糙度的精度是降低激光陀螺反射镜或其它超高反射率镜面散射损耗的主要途径。     

用动、静态法检定圆度仪放大倍率的精度及其实验研究

目前,国内外对圆度仪测量系统放大倍率的检定主要有动、静态两种方法。由于圆度仪滤波特性的影响,两种检定法检定放大倍率的精度是否一致?还没有人作过系统的分析与实验研究。我们对这一问题作了详细的理论分析、计算与实验研究,结论是两种检定法的精度是一致的,从而为动、静态检定法的广泛应用提供了理论的和实验的依据。     

表面形貌的分形描述及其评定

 通过修正的表面形貌高斯随机分形模型从理论上推导出支承长度率曲线与分形维数有关，而形貌系数对该曲线的影响较小，从实验上验证了这一结论。得出，分形维数提供了表面接触承载能力的单值定量尺度，是比支承长度率曲线更简洁而实用的参数。     

测量超光滑表面粗糙度参数的反散射计算研究

介绍一种高分辨力、无接触式测量超光滑表面粗糙度参数的反散射计算测量技术。实现该技术的测量装置的角分辨力为0.1°。它可以测量导体或非导体表面纳米级精确度的粗糙度。     

齿轮全谐波误差分离技术

齿轮全谐波误差分离技术是一种新的亚微米级测量技术.在一台光栅式齿轮整体误差测量仪上,它用三点法误差分离技术能分离开仪器轴系测量链的系统误差(包括测量蜗杆误差、光栅传感器误差、轴承回转误差等)和被测齿轮的全谐波误差.因而能满足5级或更高级别的齿轮测量要求.在对上述误差进行谐波分析后,可找出仪器及被测齿轮的误差来源.这就提供了进一步提高仪器测量准确度的可能性,从而使新一代超精密齿轮整体误差测量仪的测量不确定度可以从微米级提高到纳米级的水平.     

闭合等角转位法的测量精确度

闭合等角转位法广泛地应用于传感器旋转式圆度测量仪、工作台旋转式圆度测量仪或精密轴系的径向、轴向及其综合误差的测量。对闭合等角转位法的测量精确度做了详细的理论分析和实验验证,并提出了正确确定其采样点数的方法。