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基于AFM电场诱导氧化的纳米加工 总被引：1，自引：0，他引：1
研究利用STM/AFM进行电场诱导氧化加工以及环境(特别是湿度)对纳米加工的影响。通过理论推导得出生成氧化物的线宽与探针偏压有着密切的联系,分析了偏压和场强对氧化速度的影响,比较了相对湿度分别为53%和92%时的加工结果,并在理论上论述了温度对加工的影响。 相似文献
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