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微机械梳状驱动音叉陀螺的误差源研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
 定性地讨论了微机械梳状驱动音叉陀螺特有的一些误差源,主要有微机械结构的 Brow nian 噪声、电路噪声、机械耦合误差及电子机械耦合误差等。对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础。  相似文献   
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