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1
1.
微机械梳状驱动音叉陀螺的误差源研究
总被引:3,自引:0,他引:3
李万玉
阮爱武
罗晋生
冯培德
《航空学报》
1999,20(5):426-429
定性地讨论了微机械梳状驱动音叉陀螺特有的一些误差源,主要有微机械结构的 Brow nian 噪声、电路噪声、机械耦合误差及电子机械耦合误差等。对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础。
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