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光学基片表面软质抛光胶体粒子的激光清洗 总被引：1，自引：0，他引：1
介绍了光学基片表面软质抛光胶体粒子激光清洗的基本方法、原理和实验装置,并通过对含有污染微粒的基片表面进行激光清洗,获得了高洁净表面的光学基片. 相似文献
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讨论了利用计算机图像处理技术对精密抛光基片表面清洁自动评价的可能性、优点及应用前景. 相似文献
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YAG单晶基片的精密抛光及SPM检测 总被引：1，自引：0，他引：1
利用扫描探针显微镜(SPM)对YAG单晶基片精密加工表面进行了检测,获得了YAG单晶基片表面及表面层的基本特征,表明了SPM作为表面物理量检测是一种重要显微工具. 相似文献
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从理论上分析了微粒重叠对测量结果的影响,通过简化模型,给出了对粒子数测量结果的补偿曲线。并建立了分析图象分辨率、微粒识别率和识别阈值三者关系的模型,给出了在识别阈值不变情况下,图象分辨率与微粒识别率的关系图,从而可以选择优化的图象分辨率和微粒识别阈值。 相似文献
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简要介绍超精密抛光技术的发展动态,围绕精密研抛机的现有加工技术水平,开发可实现超精密抛光的控制力系统. 相似文献
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