特种材料表面镀TiN薄膜的结构与应力研究

本文采用多弧离子镀技术在特种材料表面制备TiN薄膜。利用扫描电镜和X射线衍射仪对TiN薄膜的形貌、成分结构、残余应力进行研究，结果表明：薄膜表面粗糙度较大；薄膜由TiN单相组成，以（111）晶面为主；TiN薄膜存在较大残余压应力，经过保温热处理后，薄膜的残余应力显著下降。     

多弧离子镀技术及其在高精度仪表中的应用

介绍了多弧离子镀技术,包括其技术原理、技术特点以及主要工艺参数,阐述了多弧离子镀技术在高精度仪表轴承零件表面改性方面的应用和存在的技术问题,对多弧离子镀技术在高精度仪表中的应用前景作出展望.     

特材零件除油工艺参数的优化研究

特材零件除油作为表面处理重要而又关键的环节,直接影响表面膜层的形 成和性能。本文重点论述了除油工艺的重要性和特材零件油污的来源,并有针对性的对 汽油浸泡、表面活性剂超声清洗、阴极电解除油等除油方法进行试验研究,优化各工序 工艺参数。除油效果采用水润法进行检验,检验结果表明：试验确定的除油工艺方法合 理,效果明显,去除了特材基体表面油污,露出了活泼的特材基体,为特材表面获得优 良的表面处理膜层打下了基础。     

影响铍材工件表面镀制TiN厚膜结合力的因素分析

本文采用多弧离子镀技术在金属铍表面制备TiN厚膜.利用扫描电镜对TiN厚膜的形貌、成分进行研究;探讨了多弧离子镀制备的TiN厚膜的失效机理,并结合生产实际情况分析了金属铍表面镀制TiN厚膜结合力的影响因素.     

半球型零件球面精密珩磨技术研究

作为精密加工技术之一,珩磨工艺往往用于内孔的光整加工.本文在分析球面研磨与珩磨加工特点的基础上,对球面精密珩磨加工技术进行深入研究,主要包括球面珩磨加工原理,珩磨头磨料选取和结构设计,球面珩磨速度参数对表面轨迹的影响,以及珩磨头压力对加工效果的影响研究.根据以上研究结果,对一批产品进行工艺试验,结果表明,采用球面珩磨技术加工出的零件能够满足产品的各项精度指标,同时加工效率较球面研磨提高3倍.     

沉积含Si过渡层对于不锈钢上沉积的DLC薄膜的性能影响

本文介绍了采用RF-PECVD法在3Cr13不锈钢基体圆片上沉积制备类金刚石多层膜,其内层薄膜为掺Si的过渡层,外层为不同厚度的在50～1000 nm之间的类金刚石薄膜（DLC）。实验结果表明沉积过渡层可以有效提高薄膜与基体的结合力。类金刚石薄膜的摩擦系数和薄膜在摩擦过程中的损坏情况都与外层薄膜的厚度有关。