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采用自主设计研制的高精度双面自对准光刻模具和标准MEMS光刻工艺技术研制出整体式层板催化剂床板片,简要介绍了光刻工艺原理、工艺流程和工艺过程。光刻加工出的板片满足设计要求,板片经过电镀和真空扩散焊接工艺形成了整体式催化剂床,该床成功地通过了热点火试车。催化剂床床载为16.5g/(cm2·s),分解效率为97%,室压粗糙度小于2%。 相似文献
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过氧化氢催化剂及其催化剂床技术综述 总被引:1,自引:2,他引:1
介绍了过氧化氢催化剂及其催化剂床技术的发展过程,包括从最初的液体喷注催化技术到发展较为成熟的银网催化剂床直到新型结构的整体式催化剂床。当前过氧化氢催化剂床的发展趋势是:高床载荷、床长短且装配简单、起动性能好、工作寿命长;催化剂床结构也不断从传统结构向新型结构发展。 相似文献
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通过理论分析和试验对一种新型整体式层板催化剂床进行了研究。设计了催化剂床流道结构并对催化剂床的加工工艺进行了初步研究。热试车结果表明,催化剂床性能良好,最高床载可达16.5g/(cm^2·s),分解效率96%,室压粗糙度小于±2%,催化剂床累计工作寿命大于455s,性能未出现下降趋势。 相似文献
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