一种新型大抽速真空粗抽系统设计

文章介绍了一种大抽速真空粗抽系统的设计方法。这种系统是利用国内已研制出的新型直排大气罗茨泵而进行设计的,它可以大大缩短真空容器的粗抽时间。     

在70m~3容器中获得5×10~(-8)Pa 的超高真空

KM3设备是一个容积为70m~3的大型空间模拟器。1993年将原来用油扩散泵作为主抽气泵的有油抽气系统改造成为用制冷机低温泵的无油抽气系统,并将系统的空载极限真空由9.3×10~(-7)Pa 提高到5×10~(-8)Pa。该系统不仅填补了国内新一代大型无油超高真空系统的空白,而且在国际上也属领先水平。在设计中采用了分压强的概念,深入分析了各种气体成分的影响,成功地解决了所遇到的一系列理论和实际问题,为今后无油系统的设计提供了经验。文中详细介绍了按系统内各种不同气体的分压来进行设计的方法和为获得超高真空所采取的主要技术措施。