具有栅瓣抑制功能的非等间距光学相控阵芯片研究

光学相控阵 (optical phased array,OPA) 作为一种激光扫描技术，具有扫描速度快、精度高、损耗小和易于集成化等优点，在光通信、无人驾驶、激光雷达和航空航天等领域具有广泛的应用前景。为了抑制旁瓣的产生，要求工作波长大于OPA的阵元间距，导致远场主瓣附近必然产生栅瓣，降低OPA扫描精度和扫描范围。提出了一种具有栅瓣抑制功能的非等间距OPA芯片，可实现宽视场、高精度的光斑偏转效果。采用遗传算法优化64路非等间距OPA阵元间距，得到最低栅瓣的阵元分布，实现最佳的栅瓣抑制效果。实验结果表明，在1 500~1 600 nm波长范围内，优化后波导最小间距为2.2 μm，最大间距为11.4 μm，芯片远场光斑可实现20°×10°的二维扫描角度，且对旁瓣的抑制作用显著。