最新离子镀技术—磁控电弧蒸发器

物理气相沉积工艺,在工业应用中产生等离子体有三种重要方法。它们是真空溅射、坩埚蒸发和由电弧形成的蒸发。三种方法比较见附表一。 电弧放电产生物理气相沉积薄膜是在真空中进行的一个过程,也是八十年代生产应用最为广泛的方法。据苏刊报道,目前苏联航空修理厂正在广泛采用磁场内的焊接新技术。这种新技术可以避免一般氩弧焊的某些缺点。