8cm×8cm大面积硅太阳电池的研究

介绍8cm×8cm多孔卷包槽式电极背栅硅太阳电池的设计、研制过程及其最近的研制进展.在研究过程中,攻克了硅片打孔、正负电极共面、埋入式电机制造、背栅和介质背反射器等项关键技术;解决了密栅钛钯银电极光刻、背表面场真空制作和Ta_2O_5/Al_2O_3双层减反射膜等多项技术难题.测试表明,电池的各项性能参数都达到了2cm×2cm高效太阳电池的水平,是国内迄今为止面积最大、结构最新颖、可适用于柔性方阵的一种大面积高效硅太阳电池.