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介绍石英谐振式加速度计工作原理,分析影响元件Q值的因素,计算热弹耗散对Q值的影响,在元件结构中基于机械滤波原理设计振动隔离系统,并通过ANSYS计算验证隔离系统的有效性。最后对样机的性能进行测试,并将测试结果和计算结果进行比较。两者基本吻合,从而证明设计方法的正确性。  相似文献   
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