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本文以超精密模辊机床为研究载体,将具有代表性的环槽微结构阵列作为研究对象。通过多体系统理论以及齐次坐标变换的方法建立机床的几何误差模型从而得到几何误差对环槽微结构阵列的影响,并用激光干涉仪对几何误差分量进行了测量。在进行数据处理后提出了一种补偿方法使环槽微结构的加工质量得到了改善。 相似文献
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根据压电陶瓷一般控制方法,针对微结构阵列加工中所面临的周期性驱动信号,提出了差值补偿法和多项式校正法两种修正非线性输出的前馈算法,并在压电式快刀装置上进行加工实验,结果表明采用多项式校正法的开环前馈控制算法可将输出位移的最大误差由6.455%降低至1.742%,可有效提高微结构阵列加工精度。 相似文献
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