小电流测量单元校准技术研究

在电子、航空航天领域及型号工程中小电流测试设备（如静电计、皮安表、源/测量单元、半导体精密分析仪等）,发挥着极其重要的作用,其电流测量分辨力达到fA级,接近其物理极限值。对这些高灵敏度、高分辨力的精密小电流测量仪器进行参数校准是一项新的计量难题。本文使用Fluke公司5440B型直流电压源和自行研制的高值电阻器,构成测试平台,可以对Keithley公司6517B型静电计（20pA～2μA电流量程）进行自动校准。软件采用Visual C++ 6.0利用校准算法对测量结果进行分析,解决了小电流测量单元校准的计量难题。