电轴法在超精密电容式传感器中的应用

在电场理论中电轴法的基础上 ,导出了局部场域的电容计算式 ,为电容传感器在精密测量中的应用提供了理论依据 ,这为经典的电轴法开辟了新的应用领域并给出了几种粗糙度等级的被测表面的近似值与精确计算结果的对比。     

精密电容测微仪无基准校正研究

介绍了一种电容测微仪的无基准校正方法,并就其工作原理进行了讨论.采用这种方法不需要其他高准确度基准,仅利用两相同准确度的电容传感器和无基准校正装置即可进行多次相互校准,最终得到各自准确度达到自身能力极限的校正结果.