用比对法检定真空计装置

主要介绍采用比对法检定真空计的装置。该装置的原理是将一支或几支需要检定的真空计与副标准真空计一起接到标准容器上，用副标准真空计和被检真空计同时测量标准容器内的同一压强，将所测的结果直接比对。该装置结构简单，操作方便，检定范围宽，效率高，主要技术指标符合国际标准化组织（ＩＳＯ）和国家有关真空标准的具体现定，可适用于真空计量二级站和基层计量单位大量常规检定。对标准装置的要求以及使用中应注意的问题和结果表示进行了讨论。     

比对法真空计量标准装置的研制

比对法真空计量标准装置是一种结构简单、操作方便、检定效率高、实用性强的二等真空标准装置。主要技术要求完全符合国际标准化组织(ISO)和国内有关真空标准的规定,尤其适用于真空计量二级站和一些基层单位大量常规校准,校准范围为10~5～10~(-4)Pa,总不确定度小于10％。在10~(-4)Pa范围内,压力的稳定度好于1％,在1～10~5Pa范围内,压力的稳定度好于0.5％。该标准装置的极限压力达10~(-6)pa。