真空计量概述

近代真空技术作为一种实用的基础技术,由于它提供了稀薄的气体氛围和清洁的环境条件,获得了越来越广泛的应用。由此,对真空计量提出了不断增长的需要和发展。现在,它已成为计量学的一个新的独立分支。     

LIP与PTB真空计量标准的比对

1987～1989年,采用我国生产的DL-2型热阴极电离规为传递规,分别对LIP的新型标准压缩式真空计标准装置与PTB的静态膨胀标准装置进行了两轮比对。比对中,使用He、Ar、N_2三种气体。比对结果,最大偏差为1.48％,DL-2规的重复性为+0.49％(PTB)和-0.88％(LIP)。LIP从美国MKS公司购买的SRG-2规,在PTB进行了校准。运到我国后,LIP进行了认真的校准。双方的数据偏差小于013％。     

气体微流量标准装置

介绍了气体微流量标准装置的工作原理，并对其测量不确定度进行了分析与验证。测试结果表明：流量的校准范围为１７．１～１．２２×１０￣（－５）ＰａＬ／ｓ，不确定度为２％。     

美国,西德和意大利的真空计量

近几年来,我们先后访问了美国NBS、西德PTB和意大利IMGC,他们都是国际上重要的计量学研究中心。本文将着重介绍他们的真空计量工作,由此也可以了解到国际真空计量学研究的一些动向和趋势。NBS超声干涉仪水银压力计,为国际最高水平。PTB的超高真空计量标准——分子束法(10~(-10)P_a)为国际最好水平。IMGC建有从10~5～10~(-5)Pa区间的各种标准。