高精度电容式测微仪的性能试验

前言随着科研生产的迅速发展,精密轴系的精度越来越高,目前已达2×10~(-8)米的数量级。轴系精度的提高,相应的要求检测仪器有更高的精度。运算法电容式测微仪具有非线性小,分辨率高,非接触测量,使用调整方便等特点,因此,在精密轴系测量和微小位移测量中日益发挥重要作用。电容式测微仪的分辨率可达10~(-8)米～10~(-9)米甚至更高,对于这种高性能的仪器做出准确     

微位移动态测量干涉仪智能系统

本文介绍了微位移动态测量干涉仪的计算机数据采集、处理系统以及4(1/2)位表头的改进和独特的输入接口。由于采用了先进的计算机技术,提高了干涉仪的精度,使其测量重复性3σ<0.002μm,并可根据用户需要,选用不同的采样间隔和测量范围,最后自动打印出被测试的电感式、电容式测微仪的非线性。