激光外差干涉信号处理技术的研究

介绍了两种激光外差干涉信号的处理方法锁相频率解调法及组合频率解调法。此方法适用于需要实时反馈控制以及定位曝光等场合。用此方法,可以使干涉仪的测量分辨力分别达到３ｎｍ和０．５ｎｍ,干涉仪测量棱镜的允许运动速度达到３ｍｍ／ｓ。