球杆仪和光栅尺在两轴联动数控工作台运动测量中的应用

用光栅尺和球杆仪组成的测量系统检测了两轴联动精密数控工作台圆运动误差,分析了这两种测量方式的误差源及特征;通过对测量误差数学建模,识别出球杆仪的定位误差和光栅尺安装误差,并提出了光栅尺安装倾斜误差的修正方法,为实现工作台高精度位置控制奠定了基础。