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1.
ZnO薄膜气敏元件
孙静静
陈慧凯
裘南畹
李东华
卫东
《航空计测技术》
2006,26(Z1):67-69
通过在Al2O3衬底上粉末溅射ZnO做出了气敏特性和稳定性较好的ZnO薄膜气敏元件,实现ZnO薄膜的实用化,表明了ZnO是除SnO2外又一种新的气敏基材料.文中还对ZnO薄膜有关气敏特性和元件的气敏电流IG随酒气浓度C变化的规律进行了介绍.
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