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1
1.
超精密机械加工技术在微光学元件制造中的应用
总被引:1,自引:0,他引:1
杨元华
陈时锦
程凯
孙西芝
《航空精密制造技术》
2005,41(4):10-12
超精密机械加工技术作为微光学元件的一种制造方法,具有很多其他传统方法所不具有的优点。本文回顾了超精密机械加工技术的发展,展望了其在微光学元件加工中的应用潜力。
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