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1.
基于压电陶瓷材料数控机床精密预紧系统研究
杨磊
綦耀光
范晋伟
刘新福
《航空精密制造技术》
2010,46(4)
本文设计了一种数控机床用压电陶瓷执行机构,并对控制系统进行了整体设计和分析,重点提出了电压/电流复合控制方案,简化了控制过程,降低了控制的复杂度,较传统压电驱动器提高了压电陶瓷材料执行机构的控制线性度,同时增强了系统的静态稳定特性和动态响应特性。
相似文献
2.
探针游移对方形四探针测试仪测量硅片薄层电阻的影响分析
苏双臣
刘新福
张润利
刘金河
《北华航天工业学院学报》
2007,17(5):35-37
分析方形四探针探针游移对其测量微区薄层电阻的影响,完成了测试薄层电阻的公式的推导,对游移后产生的误差影响进行了统计数据分析,得出了测试结果满足测试误差要求的结论.
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