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1.
超精密研磨抛光方法   总被引:8,自引:0,他引:8  
介绍了几种近代超精密研磨抛光方法的加工原理、特点、加工对象和应用。  相似文献
2.
非接触式超精密研磨技术   总被引:1,自引:1,他引:0  
名古屋工业技术研究所SP46型非接触式研磨机,研磨盘与工作轴以20~200r/min的转速作同向、高精度旋转,工作悬浮在研磨盘上,在研磨液的化学作用及微细粉末粒子的撞击下产生研磨作用。轴系皆采用液体动静压轴承,可加工Φ170mm的工件。该机可加工出表面粗糙度为2nm的硅片,加工Φ100mm、厚度为30mm的BK7光学玻璃,平面度为0031μm,表面粗糙度(均方根偏差)可达0.0038μm。特别适合微电子功能材料及光学平面的超精密加工,具有广阔的应用前景。  相似文献
3.
利用纯金属锡制作抛光盘,结合超精密主轴和导轨,可以对抛光盘进行超精密车削修整。同时该机床的抛光盘主轴和工件主轴均为可调速的主动驱动,既可以实现古典的平板接触式研磨,亦可实现流体浮动抛光。  相似文献
4.
本文着重从研磨加工的手法、研磨膏的配比、不同材料的研磨磨料选用等方面进行探讨,并详细叙述各种加工方式对产品质量的影响,通过典型零件加工技术的具体阐述,将研磨加工的方法及技巧做详细的描述,利于技术交流及推广。  相似文献
5.
本文着重从研磨加工的手法、研磨膏的配比、不同材料的研磨磨料选用等方面进行探讨,并详细叙述各种加工方式对产品质量的影响,通过典型零件加工技术的具体阐述,将研磨加工的方法及技巧做详细的描述,利于技术交流及推广.  相似文献
6.
特材镀镍六面体是安装和调整各种惯性仪表的基准,六面体的工作平面表面粗糙度小于Ra0.02μm,平面度不大于0.2μm,六个面相互的垂直度和平行度误差不大于2″.系统介绍了特材镀镍六面体的研磨方法,包括研磨剂的配制、研磨平板的研修、六面体的研磨过程,并且重点研究了不同研料对镍层精密研磨表面质量的影响.研究结果表明,粒度W0.5的自制研料研磨加工的镍层表面粗糙度在Ra0.015 μm~0.02 μm之间,表面无划伤,研磨性能优于刚玉研料和金刚石研料.  相似文献
7.
在对蓝宝石进行纳米压痕试验的基础上,利用有限单元法建立了纳米压痕试验的数值模型,对蓝宝石的纳米压痕试验进行模拟、计算和分析,确定了蓝宝石表层的材料性能和力学特性.该模型可以研究在加工过程中,主要工艺参数对加工效果、加工效率、所导致的加工表面损伤层的影响,确定它们之间的相互关系,进而优化工艺参数,完善蓝宝石材料精密研磨加工的水平.  相似文献
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