嵌套环MEMS陀螺研究综述

嵌套环MEMS谐振陀螺是一种基于Coriolis效应的振动陀螺，具有结构全对称、加工鲁棒性好、电容灵敏度高、可采用传统体硅加工工艺实现批量化制造等优点，是目前最具性能潜力的微陀螺方案之一。首先阐述了嵌套环MEMS谐振陀螺的基本结构和工作原理，然后针对其在敏感结构设计及演化、品质因数提升、频率匹配技术、非线性效应与参数放大技术及零偏补偿技术等方面的发展进行了讨论，并对其在结构设计、加工技术、测控电路、新机理和新效应的应用等方面的发展进行了展望。嵌套环MEMS谐振陀螺可以实现高精度的角速率测量，具有巨大的性能潜力和较好的应用前景。     

ZnO纳米棒阵列/QCM超疏水空间污染气敏传感器性能研究

空间环境污染监测中，石英晶体微天平（QCM）传感器可通过增加比表面积增强对有机污染分子的吸附能力，通过表面超疏水化减小水分子的影响，从而提高传感器的探测精度。文章采用水热法在QCM表面制备 ZnO纳米棒阵列膜，并对其形貌和物化性能进行实验测试。研究结果表明:ZnO纳米棒的顶端呈六边形，属于六方纤锌矿结构；ZnO纳米棒沿(002)晶面择优生长，具有较低的表面自由能；纳米棒之间存在空隙，表面接触角可达150°，表现出超疏水性能；ZnO纳米棒阵列增加了有机分子的吸附位点，使石英晶振吸附有机分子的能力更强；同时，ZnO纳米棒阵列具有一定的光催化性能，140 min内光催化降解罗丹明B的效率约为35.5%。以上研究工作可为空间环境有机分子污染监测提供技术参考。