非球面超精密车削过程中的轮廓补偿控制方法

介绍了一种可提高非球曲面超精密加工机床的轮廓跟踪精神匠误差补偿控制方法。该轮廓补偿控制器是机床轮廓位置伺服系统的一部分，它以二交一代替原微直线段来逼近给定轮廓，可提高系统的轮廓逼近精度，并减小插补数据不连连对伺服系统的冲击，从而最终提高轮廓的加工精度。     

微动工作台的研制及特性研究

介绍了一种根据仿生学原理设计而成的由电致伸缩微位移器为驱动元件的大范围高精度的微动工作台，该工作台采用电致伸缩微位移器直接驱动的柔性铰链机构，使其既可以在小范围内实现高精度的微动，又可以实现大范围的宏动。同时还对工作台的特性进行了测试实验和分析。     

用于SiC超光滑表面加工的大气等离子体抛光系统设计

设计了一套基于射频电容耦合放电原理的大气等离子体抛光原型装置,电容耦合等离子体炬首次被应用到了抛光系统中。针对SiC反射镜的加工实验结果表明,系统工作正常,并可以实现亚纳米级的表面粗糙度。     

大气等离子加工系统设计及实验验证

建立了面向复杂光学表面的大气等离子抛光系统,并用该系统进行硅片表面加工的实验研究.研究了CF_4、SF_6两种气体的放电特性以及加工效果,得到了加工速率与功率,流量间的关系,并通过原子力显微镜观察了加工后的表面质量.     

表面粗糙度的光学测量方法

表面粗糙度的光学测量方法,具有非接触、精度高和响应快等优点,致使研究十分引人注目,发展极快。本文简单介绍了几种典型的光学测量原理和方法及一些商品化的仪器。     

YAG单晶基片的精密抛光及SPM检测

利用扫描探针显微镜(SPM)对YAG单晶基片精密加工表面进行了检测,获得了YAG单晶基片表面及表面层的基本特征,表明了SPM作为表面物理量检测是一种重要显微工具.     

高精度光栅干涉测量技术及仪器

在超精密测量和控制技术中，对测量精度提出了越来越高的要求，如尺寸精度１ｎｍ和角度０．００１。由于光栅具有精度高、抗干扰能力强、寿命长和价格便宜等优点，最近几年光栅干涉测量技术被广泛研究和使用。本文简单介绍几种在超精密测量和制造过程中常用的微纳米光栅干涉测量技术。     

微纳米表面和表层的完整性评价方法

随着精密加工技术,测量和分析手段,及计算机科学的深入发展,对微纳米表面和表层完整性的评价日趋强烈.本文概括性地初步探讨了表面完整性评价时涉及到的具体评价性能和检测方法,并对几种常用的表面性能的检测方法和仪器进行了综述.     

基于神经网络的超精密车床圆柱度误差补偿技术研究

根据所研制的超精密亚微米车床的具体特点，提出了一种基于神经网络的工件圆柱度误差补偿方法，并据此建立了误差补偿控制系统，实验结果证明所提方法简单易行，在超精密车削中应用前景广阔。     

AFM针尖磨损机理研究进展

在分析了原子力显微镜(AFM)探针在测量及加工领域应用过程中,探针磨损对于实验结果的影响的基础上,综述了Si3N4针尖、金刚石针尖和单晶硅针尖的磨损机理。并展望了探针磨损机理的发展趋势。