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1.
模态局部化效应是安德森局部化在结构动力学中的一种具体表现形式,其利用振动模态的能量局部集中效应实现了灵敏度的大幅度提高。因此,模态局部化效应近年来逐渐被用于研制高精度的谐振式传感器。介绍了模态局部化效应的基本原理及发展历程,及其在各类谐振式传感器中的应用及研究现状,包括质量传感器、电荷传感器、位移传感器以及刚度传感器。最后,着重介绍了模态局部化效应在惯性敏感器件加速度计中的应用及研究现状。  相似文献   
2.
解决强磁环境下磁强计易受干扰的问题,能够提高微型姿态参照系统航向角测量精度。建立了磁强计误差两次补偿模型,首先采用椭圆坐标修正法对磁强计进行罗差补偿,以减小环境磁场的干扰;其次采用最小二乘拟合法对获得的磁航向角进行二次补偿,提高系统航向角测量精度。试验结果显示:系统航向角测量值的误差均方值由补偿前的3.982°降为补偿后的0.386°,精度提高近10.3倍,表明该补偿方法能够有效降低磁场环境的干扰,提高系统航向角测量精度。  相似文献   
3.
国际单位制共有7个基本单位,时间就是7个基本单位之一,是目前能够实现的测量精度最高的一个物理量。因此,将加速度的测量转化为时间的测量,是实现加速度高精度检测的有效途径。首先,介绍了基于时间测量的加速度敏感原理。然后,介绍了基于该敏感原理的加速度传感器研究进展。最后,进行了基于时间测量的加速度计精度的定性和定量分析。理论分析和实验证实表明,加速度精度极限与时间分辨率之间成正比关系。  相似文献   
4.
多环谐振微机械陀螺的研究现状及发展趋势   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
微机械陀螺是一种新型的陀螺,近年来随着微机电技术的发展,其性能不断得到提高。基于多环谐振微机械陀螺的发展现状,详细评述了多环谐振陀螺的来源以及其由单环到多环的结构发生改变的优点。并基于驻波进动原理,介绍了两种新型的全对称谐振盘陀螺。总结了圆环谐振式微机械陀螺的工艺发展路线,由早期的HARPSS工艺发展到外延多晶硅封装工艺,再到材料性能好的单晶硅热压键合工艺,使得多环谐振陀螺的性能不断得以提升,并分析了其优缺点。最后,展望了未来的高新技术,提出多环谐振陀螺的发展方向。  相似文献   
5.
针对无人机对惯性测量组合的小尺寸、轻重量的需求,设计实现了芯体为1cm3的微小型单芯片的硅微惯性测量组合。论文提出了一种基于体硅深刻蚀—玻璃键合工艺的单芯片惯性测量组合结构,该结构集成了六个异构的单轴惯性器件,可实现运动载体的六自由度运动信息测量。单芯片惯性测量组合中的陀螺器件两个模态的的振动频率实现了较好的匹配,加速度计器件分辨率达到了0.93mg。测试结果表明该单芯片惯性测量组合有望实现高精度的惯性量测量,在无人机上有很好的应用前景。  相似文献   
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