电子束曝光机工作台及精密轴承——用电子束扫描提高LSI图形精度

利用电子束扫描制造LSI光刻掩膜版,已取代从前的照像制版。在技术先进国家已进入实用化阶段。而电子束光栅扫描曝光机连续移动工作台的结构及精密轴承的精度和性能,决定于减少电子束的偏转角和工作台上下往返移动寸产生的位置误差。制造材料必须用热膨涨系数小,非磁性防止磁场变化。装配和加工技术要求精密微细化。电子束曝光机整体结构要真空密封,防止外界环境干扰。传动部分采用静压空气轴承、滚珠丝杠,滚柱轴承支持V型导轨等先进技术。     

俄罗斯航天面临新挑战—一位俄罗斯高级专家的看法

一、现状 前苏联的解体对航天科研机构及工业设施产生了极大的影响。严重的经济危机使独联体的航天研究陷入困境,预算紧张迫使独联体削减航天计划,只有少数同军事航天有关的研究与设计院所的航天项目能够幸免。 尽管在过去5年中前苏联每年的航天预算均保持在60～70亿卢布之间,但面对不断猛增的通货膨胀率仍然入不敷出。原有机构的解体和各种组织间传统联     

智能计算机系统

本文首先论述了智能计算机出现的社会意义和背景.接着在给出数据、信息和知识的定义的基础上讨论了智能机的功能、体系结构和相应的技术等问题,介绍了智能计算机的软件及要求.最后本文展望了智能计算机的未来发展,把第五代计算机称为第一代智能机;提出了更高级智能机的功能和结构,以集合论作为归纳抽象的工具,把集合概念纳入智能机程序设计语言,而形成一种崭新的语言,以适应更高级或新一代智能机的要求.     

柔性对涡街中细丝运动状态的影响

在涡街中,细丝的运动状态和其推进性能是密切相关的,研究柔性对涡街中细丝运动状态的影响,可以为柔性飞行器在编队飞行时的柔性设计提供参考。给出三种不同的细丝柔性分布模式,通过浸入边界法,探究在不同涡街中（卡门涡街和反卡门涡街）柔性对细丝运动状态的影响,并总结细丝运动状态随柔性的变化规律。结果表明：当细丝柔性发生改变时,细丝...     

卫星结构基础加速度激励及界面力识别试验研究

针对某卫星结构模型,开展基于实测卫星结构加速度的卫星基础激励和星-箭连接界面动载荷反演试验研究.首先,根据卫星结构和试验条件,设计了用于测量星-箭界面传递载荷的工装;其次,基于卫星结构模态试验和有限元模型修正技术,获取了卫星结构的高保真有限元模型;进一步,开展基础激励下的卫星结构模型振动试验,利用动载荷识别技术获取振动...     

气压缓冲器非线性数学模型辨识

为了求得某涡喷发动机中气压缓冲器的高精度数学模型,利用机理建模的方法,建立了气压缓冲器非线性数学模型的基本结构,用模型辨识方法得到了模型的参数。通过时域仿真与实测结果的比较,证明非线性模型的最大误差比线性模型的小３倍。     

某涡喷发动机供油调节系统中的气穴现象

为了解释某涡喷发动机供没调节系统限流器中出现的气穴现象,消除气穴现象对发动机启动加速过程的影响,分析了气穴现象产生的机理及其发生条件,通过与试验数据的对比研究,说明了气穴现象对发动机启动加速过程的影响,在此基础上,提出了消除气穴的具体方法,试验结果表明,所提出的措施实用有效。     

Fe3Al高温氧化中的内氧化

用热天平、扫描电子显微镜（SEM）、能谱（EDX）和X-射线衍射（XRD）研究了Fe3Al在1000℃空气中的氧化行为。发现氧化动力学基本服从抛物线规律,氧化膜由Al2O3和少量Fe2O3组成,并产生穿晶内氧化;根据对氧化膜及基体的分析结果及有序合金扩散热力学特点,提出发生内氧化的主要原因是金属间化合物的有序结构降低了铝的活度和其在合金中的扩散系数,在高温氧化过程中,基体／氧化膜界面严重贫铝,从而发生内氧化。     

航空齿轮弯曲疲劳寿命预测方法的探讨

综合分析了齿轮的常规弯曲疲劳寿命预测方法在航空齿轮设计中的局限性,同时探讨了利用局部应力—应变法研究齿轮弯曲疲劳寿命的可能性,文中根据有关实验结果,进行算例分析,并获得了一些重要结论