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电容式微加速度计闭环检测电路 总被引:1,自引:1,他引:1
针对硅微惯性器件中的微小差分电容检测,提出了一种应用于三明治结构差分电容式微机械加速度计的闭环检测电路.通过等电势屏蔽法,相干解调技术和增加激励信号对称性等技术屏蔽杂散电容,抑制了电路噪声和共模误差,提高了检测电路的微弱信号辨识能力;静电力平衡闭环检测克服了开环输出信号的非线性缺陷,实现了高线性度、高分辨率的电容检测.设计的闭环检测电路具有电路简单、线性度好、抗干扰性强和易于集成的特点.实验结果表明,加速度计量程可达±15g,电容分辨率可达10-16F. 相似文献
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首先介绍了飞机燃油系统的功能及组成.然后根据CJ828总体设计技术要求,考虑飞机设计的安全性、舒适性、经济性、维修性和先进性要求,以及适航规章、航空公司的使用要求等多方面具体规定,并对比A330、A380与波音767、波音777等先进机型,设计了CJ828燃油系统初步方案,包括燃油系统各子系统的方案设计.其中,详细介绍了CJ828燃油测量系统的设计,选用成熟可靠的电容式传感器进行燃油量测量,利用测量电桥进行传感器的电容量测量. 相似文献