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21.
介绍一种以线性调频半导体激光为光源的衍射光栅干涉仪。激光与光栅上衍射的±1级衍射波会合,由于有光程差而发生光拍频,测量拍频信号的相位移则可测得光栅的位移。设计了一种克服激光波长漂移和空气折射率变化影响的对称差动光路,使这种方法达到实用化的程度,分辨力达到纳米级。此外,还介绍了应用于接触干涉仪的实验情况。 相似文献
22.
23.
根据滚轮式光栅数显器的工作原理,结合中、大型机床的加工需要及其精度指标,提出了该装置可能产生的误差分析与计算条件;着重论述了装置在制造安装、组合构件以及环境温度等六个方而的误差分析与计算。又根据现有技术水平、工艺条件及各组装零件的精度对各类误差进行综合性估算,并提出了估算公式。结果表明,基本上满足了设计技术条件的要求。 相似文献
24.
EvaluationofMeasuringUncertaintyoftheAutomaticInstrumentforMeasuringLengthGratingsandLineStandardsupto2m(2)RenDongmei;NiuLixin;WangXiaowie;QiAihui;CaoHang上接1998年第18卷第3期第26页3测量光栅尺的合成标准不确定度本仪器测量光栅尺时,采用双干涉光路测量方法,其测长公式为l一(11+12)/2(18)l。一n。·A/2一人·入/64(i—l,2)(19)式中,l——测量长度;l。——干涉光路i测得的长度值;n。——干涉光路i中干涉条纹的变化数;k。——干涉光路i的计数脉冲数。由仪器的工作原理可知,11、人相关,根据不确… 相似文献
25.
基于CPLD的光栅数据采集卡的设计 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了一种实用的,基于CPLD的ISA总线光栅数据采集卡的设计,介绍了其硬件结构和工作原理,并详细描述由EPM7128构成的信号处理单元中每个模块电路的组成和功能,其核心为对光栅信号的辨向及四细分模块。 相似文献
26.
本文介绍了数显表在我国的发展概况,以及感应同步器,光栅和磁栅兼容的数显表的基本原理。 相似文献
27.
28.
静电驱动是实现微米光栅加速度计小型化和闭环力反馈控制的关键, 其引
入的静电刚度对加速度计灵敏度有着重要影响。对基于静电刚度的微米光栅加速度计灵
敏度特性进行分析。首先, 建立了基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度模型。其
次,通过MATLBA 仿真,得到静电驱动电压与传感器灵敏度的理论关系。最后,对理论
分析结果进行了实验验证,结果表明静电刚度可以改善系统刚度,静电电压从1.25V 到
2.05V 等间隔变化时, 加速度计的灵敏度由871mV/g 变化为1148mV/g, 分别相对于未加
电时的灵敏度783mV/g 提高了0.46dB 到1.66dB,提高了微米光栅加速度计的灵敏度。本
文研究内容对集成式闭环微米光栅加速度计的研究提供参考。 相似文献
29.
云山 《自动驾驶仪与红外技术》2002,(2):15-18
介绍了一种低频光学加速度计,它可用于水电站的临视系统。采用光纤技术及干涉工艺,实现了应用所要求的高灵敏度。小型化的体积及简洁性的原理使用其非常适用于这一领域。 相似文献
30.