大尺寸及异型锗窗高效电火花线切割技术

 研究了N型锗半导体电火花加工时所体现的单向导通性及特殊电特性,建立了电火花加工模型,分别用二极管、可变电阻、稳压管、电阻等器件表征了锗半导体与进电端材料的接触势垒、极间体电阻、介质放电维持电压及工作液电阻。设计了锗半导体电火花线切割专用夹具,采用锗半导体表面涂覆碳浆并用石墨块进电的方式以降低接触势垒、接触电阻,对进电接触点采用吹气方式减少电化学反应导致的不导电钝化膜的产生,保障加工的延续。最后对电阻率为22.3 Ω·cm,高度为170 mm的N型锗进行了电火花线切割,切割效率大于100 mm2/min,并采用数控的方法切割出异型锗窗。检测了放电波形,分析了锗半导体电火花线切割的特性。     

极间介质模式对放电诱导烧蚀铣削影响

为探究一种更有利于提高放电诱导烧蚀铣削工艺指标的极间介质模式，设计了内喷雾、液中喷雾、液中喷气这3种极间介质模式的对比试验，对材料去除率、相对电极损耗率、表面粗糙度等指标进行了对比。试验发现，液中喷气模式的材料去除率最高，达到131.86 mm³/min,相比于内喷雾、液中喷雾分别提高了7.10%、27.42%;相对电极损耗率最低，为1.81%,相比于内喷雾、液中喷雾降低了72.11%、74.64%;其氧气利用率同样是三者中最高的，达0.81%,相比于内喷雾、液中喷雾提高了44.64%、65.31%。分析表明，液中喷气放电诱导烧蚀铣削加工是在气液分层介质中击穿放电，其排屑状态优于内喷雾和液中喷雾，因此短路拉弧现象减少，电极损耗因而大幅降低，同时该模式具有聚集氧气的优势，有利于提高放电诱导烧蚀铣削加工的工艺指标。