微小尺寸夫朗荷费衍射测量中的误差研究

分析了用夫朗荷费衍射测量微小尺寸的原理误差,包括夫朗荷费近似误差和极值特征点位置探测误差。以狭缝为例,利用计算机仿真技术对该两项系统误差进行了修正。     

精密加工表面粗糙度在线检测系统的研究

介绍一个高精度的激光光纤传感式精密加工表面粗糙度在线检测系统。系统的工作原理基于表面散射理论,综合采用了光强补偿、调制、单通道信号处理以及互补采样等一系列技术,确保了测量的高精度。系统使用了单片微机,包括信号切换、互补采样、运算处理及显示打印等测量全过程,均由单片机控制