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光刻技术在金属板片刻蚀上的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了应用双面自对准光刻技术刻蚀金属板片的工艺原理、方法、工艺参数的选取原则以及双面自对准光刻模具设计准则,该项技术已成功应用于液体火箭发动机层板喷注器和膜片阀的研制和生产之中。 相似文献
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通过理论分析和试验对一种新型整体式层板催化剂床进行了研究。设计了催化剂床流道结构并对催化剂床的加工工艺进行了初步研究。热试车结果表明,催化剂床性能良好,最高床载可达16.5g/(cm^2·s),分解效率96%,室压粗糙度小于±2%,催化剂床累计工作寿命大于455s,性能未出现下降趋势。 相似文献