基于电子束蒸发沉积的曲面纳米薄膜均匀性研究

半球谐振子金属化是半球谐振陀螺研制过程中的重要环节，针对半球表面薄膜制备均匀性难以实现的问题，提出了一种将薄膜沉积实验和光学模拟相结合的方法。本文采用电子束蒸发技术在半球上沉积Au薄膜，利用台阶仪测量球面上不同位点的薄膜厚度，将平面上的膜厚等效为半球曲面上的膜厚，研究球面薄膜的均匀性，得出了在半球内外表面上薄膜的膜厚分布；同时对薄膜沉积均匀性进行光学模拟，将半球探测器上辐照度等效为实验中沉积所得到的薄膜厚度，计算得出的半球探测器上辐照度分布与实验测量结果一致性较好，可为半球谐振子纳米薄膜的均匀性制备提供理论基础。     

振子式自准直仪中振子的设计

光电式自准直仪的关键技术是如何将光信号转变成电信号,由此产生了不同类型的光电式自准直仪。振子式是其中一种较为传统的类型,由于其测量范围小,线性差,已呈逐渐被取代的趋势。出于改进的目的,比较分析了传统的振子结构,设计了一种新型的封闭式动圈振子。这种振子其线圈是运动的,便于闭环控制,大大提高了测量范围,而整圈式结构中磁力线是均布的,从而提高了线性度。     

石英晶片加工现状与发展

介绍了石英晶片加工现状、存在的主要问题,影响石英晶片加工的因素以及发展趋势.对于石英晶体精密加工而言,为了解决划痕、裂纹等表面损伤和提高研磨效率这一矛盾,提出利用半固着磨具加工石英晶片的新型抛光技术,有效地避免硬质大颗粒造成的表面损伤,提高整体加工效率.     

计算机辅助设计技术在石英音叉陀螺研制中的应用

建模是研制的前提，利用有限元程序建模，关键在于程序自身的可靠性以及该程序所提供的单元对所分析问题的符合程度。本文详述了石英音叉陀的原理及研制特点，初步了计算机辅助设计技术解决若干核心技术问题的途径，并给出性能仿真的实例。     

微机械石英振荡加速度计的设计、组装和调试

论文描述了微机械加速度计的设计、制造和测试，石英振荡加速度计(SOA)是微机械双振荡器加速度计，每一个振荡器由两个悬臂于石英挠性粱的石英块组成，它依赖静电力驱动以一个异相谐振模块传感，加速计的检测质量块联结在振动梁上，当它承受加速度和使梁受张力或拉力时，振荡器的本征频率发生漂移，该加速度正比于振荡器本征频率变化。一个体溶解晶片在玻璃化微机械过程中，通常用单晶硅制造SOA，在无引出线陶瓷基片上用真空封装SOA技术得到一个精确谐振频率。设计思想包括两个方面，一是紧封闭型，二是有限元分析。试验结果涉及振荡器本征频率，仪器品质因素，加速度灵敏度和振荡器对温度的灵敏度，实验结果和封闭型详细分析结论完全一致。     

颗粒度对石英陶瓷天线罩工艺性能的影响

介绍石英陶瓷材料颗粒度配比对导弹天线罩强度和工艺性的影响，给出了颗粒研磨程度、添加干粉和不同研磨时间的胚料抗弯强度数据。同时指出：能满足强度的颗粒配比料方较多，而颗粒度对天线罩体的工艺性（浇柱、干燥、烧结等）有着明显影响，因此，应合理控制颗粒度配比，生产出强度和电性能满足设计要求的石英陶瓷天线罩。     

一种手自一体石英挠性加速度计温控仪的设计

为满足惯性导航系统中石英挠性加速度计精确测试要求,设计了一种以模拟电路和功率放大为核心的高精度加速度计温度控制仪器,温控精度达到0.02℃.该温控仪除具有精密温度控制外,还具有手动模拟量测量、自动模拟量测量及多通道I/F输出测试于一体的特点.为满足多只加速度计测试一致性要求,采用单一温度受控的采样电阻方法,提高了石英挠性加速度计性能指标如4小时稳定性、模拟量长期重复性测试的准确性和稳定性.     

半球谐振陀螺仪谐振子品质因数不均匀引起的误差分析

 半球谐振子的品质因数不均匀性是造成陀螺仪输出误差的一个主要误差源,所以研究在参数激励以及位置激励两种模式下,谐振子品质因数不均匀对于陀螺仪输出误差的影响具有一定的理论意义。在引入半球谐振子的环形振动模型的基础上,首先考虑参数激励方式下,品质因数不均匀引起的进动角速率误差的表达式,仿真分析了不均匀性四次谐波对陀螺仪漂移角度的贡献,结果表明漂移角度为具有趋势项的振动曲线。然后在位置激励方式下,通过开环和闭环两种模式分别研究了品质因数不均匀的四次谐波对于输入角速率解算的影响,得出了当位置激励对准固有韧性轴时,解算的误差能够得到抑制的结论。总之,在两种激励方式下,品质因数的四次谐波分量都会导致陀螺仪出现输出误差。     

谐振式陀螺全角模式误差来源与接口技术

全角模式是谐振式陀螺的新型接口技术，具有直接测量角度、动态范围大的优点，但其对陀螺元器件对称性要求极高的缺点限制了它的实际应用。首先，从谐振式陀螺全角模式的原理出发，讨论了各种不理想因素对全角模式运行造成的问题。然后，从器件设计和控制系统两方面出发，讨论了可行的技术路线。最后，通过数值仿真的方法证明了理论分析的正确性，并给出了谐振式陀螺的选型和控制系统的建议。     

半球谐振陀螺温度补偿与实验研究

温度的变化严重影响了半球谐振陀螺的使用精度。为了消除或者减小温度因素对陀 螺 精度的影响,在简要分析温度对半球谐振陀螺精度影响原因的基础上,采用独立成分分析方 法对温度影响性的独立性和规律性进行了分析检验;建立了陀螺的温度误差补偿模型,并对 与温度有关的确定性漂移进行补偿;利用Allan方差方法对不确定性漂移进行了分析补偿。 实验证明该方法可以扩大陀螺温度环境适应范围,使陀螺仪的使用精度提高约3倍。〖JP 〗