电子束曝光机工作台及精密轴承——用电子束扫描提高LSI图形精度

利用电子束扫描制造LSI光刻掩膜版,已取代从前的照像制版。在技术先进国家已进入实用化阶段。而电子束光栅扫描曝光机连续移动工作台的结构及精密轴承的精度和性能,决定于减少电子束的偏转角和工作台上下往返移动寸产生的位置误差。制造材料必须用热膨涨系数小,非磁性防止磁场变化。装配和加工技术要求精密微细化。电子束曝光机整体结构要真空密封,防止外界环境干扰。传动部分采用静压空气轴承、滚珠丝杠,滚柱轴承支持V型导轨等先进技术。     

钛合金空气导管的电子束焊工艺试验

钛合金空气导管的电子束焊工艺试验沈阳黎明发动机制造公司冷工艺试验室曲伸，戴惠风一、空气导管简介空气导管是某涡扇发动机上典型的薄壁筒形零件，材料为ＴＣ４简体分四段：两端头由锻件机加工而成；筒身两段由ＴＣ４板材卷筒焊接校形而成。整个简体用三条电子束焊缝连...     

高温合金双枪电子束焊接性研究

通过选用能量密度介于ＴＩＧＷ与ＳＥＢＷ的ＴＥＢＷ双枪电子束焊接法，对航空发动机、原子能反应堆内壁用高镍合金焊接性进行了对比分析，并对焊缝区进行了强度评价．     

大型火箭壳体结构的垂直装配焊接

介绍了俄罗斯大型运载火箭壳体结构的材料。装配和焊接概况．对我国同类型航天火箭的制造有参考和借鉴意义．     

环氧树脂及其碳纤维复合材料的电子束辅助固化研究

报道了辐射剂、辐射剂量对环氧树脂电子束固化的影响,分析了环氧树脂进行电子束固化的机理,比较了电子束固化树脂复合材料与相应的热固化复合材料的机械性能。     

中碳调质钢Cr—Ni—Mo系钢薄壁盘真空电子束焊

中碳调质钢一直用于航空工业中一些重要零部件的制造,其焊接接头的可靠性是使用的关键,本文着重介绍了Ｃｒ－Ｎｉ－Ｍｏ系钢４０ＣｒＮｉＭｏＡ薄壁盘的真空电子束焊工艺。     

俄罗斯的航空可焊钛合金

介绍了俄罗斯航空工艺研究院最新推出的航空可焊钛合金的牌号及性能简况     

BNi-2钎料真空电子束钎焊

探讨了真空电子束钎焊过程中电子束钎焊工艺参数对钎料润湿性和试板温度场的影响作用,以及BNi-2钎料钎焊不锈钢时的接头组织。获得了真空电子束钎焊优化工艺参数,为不锈钢结构件的真空电子束钎焊工艺提供了理论依据。     

大型对开机匣整体电子束焊接成型技术

介绍了整体电子束焊接成型大型对开压气机机匣的技术要点、焊接机匣的工艺路线及控制大型机匣焊接和加工变形的技术措施     

电子束物理气相沉积叶片热障涂层工艺稳定性提升技术研究

电子束物理气相沉积（EB–PVD）是航空发动机涡轮叶片涂层的先进制备技术。EB–PVD的工艺稳定性对于叶片涂层质量及批产一致性至关重要。本研究针对我国先进航空发动机对高性能热障涂层的应用需求,研制出了EB–PVD自动蒸发沉积技术和叶片多自由度涂层沉积技术。工艺验证和性能测试结果表明,所研制的自动蒸发沉积技术可使涂层过程靶材消耗均匀稳定,涂层质量良好;双坩埚结构配置可进一步满足新一代超高温双层结构热障涂层工艺需求。所研制的多自由度沉积技术有助于提升叶片涂层厚度均匀性,改善缘板涂层质量,实现涂层厚度和微观组织的精确调控。利用上述工艺制备的涂层试片抗燃气热冲击性能优异,模拟叶片缘板位置涂层寿命与模拟叶身位置涂层寿命相近。