电子束曝光机工作台及精密轴承——用电子束扫描提高LSI图形精度

利用电子束扫描制造LSI光刻掩膜版,已取代从前的照像制版。在技术先进国家已进入实用化阶段。而电子束光栅扫描曝光机连续移动工作台的结构及精密轴承的精度和性能,决定于减少电子束的偏转角和工作台上下往返移动寸产生的位置误差。制造材料必须用热膨涨系数小,非磁性防止磁场变化。装配和加工技术要求精密微细化。电子束曝光机整体结构要真空密封,防止外界环境干扰。传动部分采用静压空气轴承、滚珠丝杠,滚柱轴承支持V型导轨等先进技术。     

电连接器用250℃导电弹性材料的研究

研究了形变时效和淬火时效对含Ｎｂ和不含Ｎｂ的两种Ｃｕ—ｌ５Ｎｉ－８ＳｎＳｐｉｎｏｄａｌ分解型合金的力学、性能、应力松弛性能和其他物理性能的影响。经５６％形变，４００℃时效３０ｍｉｎ能使这两种合金获得很高的强度和弹性模量；在２００℃具有良好的抗应力松弛性能；加Ｎｂ的合金能改善２５０℃的抗应力松弛性能。淬火时效处理能获得适中的强度和极良好的延性；加Ｎｂ能加速Ｓｐｉｎｏｄａｌ分解，提高时效初期的强度。淬火时效态的两种合金在２５０℃下均显示良好强度和弹性稳定性，十分适合作高温电连接器中的导电弹性元件。文中还对调幅组织的强化和Ｎｂ的作用进行了讨论。     

俄罗斯航天面临新挑战—一位俄罗斯高级专家的看法

一、现状 前苏联的解体对航天科研机构及工业设施产生了极大的影响。严重的经济危机使独联体的航天研究陷入困境,预算紧张迫使独联体削减航天计划,只有少数同军事航天有关的研究与设计院所的航天项目能够幸免。 尽管在过去5年中前苏联每年的航天预算均保持在60～70亿卢布之间,但面对不断猛增的通货膨胀率仍然入不敷出。原有机构的解体和各种组织间传统联     

论姜长英学术思想——兼论航空史学的核心价值

今年是我刊原主编及研究会创始人姜长英教授91寿辰。在此发表此文,一方面祝贺他身体健康,万寿无疆,另一方面是学习姜老的学术品格,使航空史爱好者,均能以姜老为榜样,为航空事业做出更大贡献。     

ISO公差制在测绘中的应用

在样机测绘中,如何保证机械零件的线性配合尺寸精确性及与原机零件的互换性,不但要求测量准确,而且要对实测值进行正确的处理。现将我们在测绘某机过程中,对一般线性配合尺寸的分析与计算的一些做法介绍于后,供参考。     

FSN-10-1型食品罐罐身电阻缝焊机通过部级鉴定

焊机主要技术规格: 1.电源:380伏;三相;50赫。 2.功率:10千伏安。 3.被焊材质:马口铁,厚度0.2～0.3毫米。 4.被焊罐尺寸:直径φ65.3～φ98.9毫米,最大长度165毫米。     

1987年国际电路与系统学术年会简况

由IEEE(国际电子电气工程师协会)电路与系统学会主办的第二十届国际电路与系统学术年会,于1987年5月4日至8日在美国费城召开。来自世界各地的500多名学者、专家出席了这一盛会。这次大会录用的论文共280篇,是从各国学者提交的2000多篇中选出来的。我国(大陆)共有13篇论文被大会录用,其中11篇在会上宣读。我国台湾省学者的论文也被录用了6篇,加上我国在国外进修学者提交的论文,总数占论文总数的10%。我国13人参加了这一会议,他们是:清华大学常迥教授、陈允康教授、西安交通大学邹理和教授、天津大     

智能计算机系统

本文首先论述了智能计算机出现的社会意义和背景.接着在给出数据、信息和知识的定义的基础上讨论了智能机的功能、体系结构和相应的技术等问题,介绍了智能计算机的软件及要求.最后本文展望了智能计算机的未来发展,把第五代计算机称为第一代智能机;提出了更高级智能机的功能和结构,以集合论作为归纳抽象的工具,把集合概念纳入智能机程序设计语言,而形成一种崭新的语言,以适应更高级或新一代智能机的要求.